经济型工业微波设备发现原煤中的硫以黄铁矿形式出现,黄铁矿比煤有更高的损耗角正切,因此利用微波可使黄铁矿得到选择性加热与气体发生反应,进行脱硫。而煤不受影响。理想的方法是以持续 时间为0.1秒的脉冲波进行间歇式加热,将黄铁矿石加热到650℃的高温。这种方法去硫效果好,不需昂贵的催化剂,节省资金,能源效率高,环境污染小。
半导体生产工艺中已经采用微波等离子体技术,进行刻蚀、溅射、气相沉积、氧化硅片;还可用于金属、合金、非金属的表面处理;用于等离子体光谱分析可检测十几种元素。
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