由于真空微波干燥设备微波能是控制在金属制成的干燥室内和波导管中工作，所以微波泄漏极少，没有放射线危害及有害气体排放，不产生余热和粉尘污染，既不污染食物，也不污染环境。
   在药品生产中，为了保证药品的均匀度和良好的流动性，常将原料用一定的方法制成颗粒（药丸、胶囊、片刻），利用微波的热效应和非热效应，进行低温干燥和杀菌处理，微波的能量直接辐射到药品中，使药品内部温度升高，产生压力，加速被约束水分子转移，被处理物品中的水分逐步向外蒸发，此时微波设备中再通以适当的热风，将蒸发出来的水分带走。

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