微波干燥设备具有节省时间、能耗低、功率大等优点，能同时加热物体介质的内外，让加热更均匀。它作为大型复杂的机械设备，需要定期维护。
1.检查它的冷却装置是否正常：检查制冷机要先弄清楚设备的冷却方式，使用水冷却时，要检查管道是否漏水，是否堵塞。检查风扇是否完好，风扇电源是否正常，更换损坏的零件。
2.检查微波干燥设备的高压电容是否正常：一般高压电容并联电阻的电阻值约为10ω；电容器端子和外壳之间的电阻值应，如果实测值与上述数据不符，应更换相应的零件。
3.检查微波干燥设备的高压硅堆是否正常：使用万用表测量高压硅堆的前向阻值应在100kω左右，反向阻值不应受到限制。如果实测值与上述数据不符，应更换高压硅堆。