小型微波萃取设备应用多的微波萃取装置有多模腔体式和单模聚焦式两种，工作频率均为2450 MHz, 微波萃取设备的主要部件是制造的微波加热装置、萃取容器和根据不同要求配备的控压、控温装置，对于密闭式微波萃取系统少应具有控压装置，有控温和挥发性溶剂监测附件好。
   单模聚焦式微波萃取装置可不用控压和控温，制样量大，但不足之处是一次仅可制备一个样品，萃取时间较长。它类似于传统的Soxhlet提取，只是加热所用能源为微波，萃取时间是多模腔体式微波方法的5一10倍。

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